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运动控制
ydkz.ybzhan.cn仪表网旗下随着科学技术的深入研究，在低温真空强磁的环境下提供纳米级精密定位的应用在物理学、化学和材料学等领域应用越来越多，而低温真空无磁压电运动平台是一种高精度精密定位设备，主要特点是高精度、高稳定性和高可靠性，可在低温、真空及磁场等情况下提供精密定位，在半导体加工、检测等方面广泛应用。
XD106.XYZ60K
产品特点
· 低温真空无磁，耐低温可达4K
· XYZ三维运动
· 4K温度下位移达30μm/轴
· 分辨率可达2nm
· 开环运动控制
· 响应速度快
产品应用
· 半导体加工
· 半导体检测
· 高精密测试和操作
· 其他真空无磁要求的纳米运动控制等
技术参数
推荐控制器
芯明天设计生产多款压电控制器，如模块化、小体积型、大功率、工业式、集成式等。可根据不同应用场景选择合适的压电控制器。
E00/E01系列压电控制器
E70.C3系列压电控制器
更多详情欢迎致电芯明天！
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