运动控制
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深圳市天铉真空技术有限公司
LAM流量计797-800733-001/mks649A-25014
near/heater/slit door);密封件;以及ESC(包括ESC 翻 新
加热元件的发热越有效,需要对它们进行的加热就越少。Plansee 研发了一种能够热输出的涂层工艺。
钨基层具有高孔隙率的
钼(熔点:2620°C)和钨(熔点:3420°C)均是难熔金属,高熔点使它们非常适合用于诸如 MOCVD 和 MBE 之类的高温工艺。
耐腐蚀:
钼和钨在各种环境中都具有耐腐蚀性,甚至在温度下也是如此:
钼 | 氨气 |
在操作过程中,反应室部件中的杂质也可能污染半导体。要保证半导体的质量和 LED 或晶体管的效率,我们的材料必须无杂质。我们保证材料纯度高于 99.97%。
蒸气压低:
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